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大面積大角度二維掃描振鏡
快軸掃描頻率
800
Hz
慢軸工作模式
線性掃描，實時角度反饋
慢軸最大光學掃描角
27
degree
慢軸掃描頻率
0-20
Hz
外形尺寸
51.4×34×21.6
（不含安裝耳）
mm
驅動電壓
± 14
V
負載電阻
66
Ω
功耗
720
mW
工作溫度
-40~105
℃
?
TS-MM-D6型大角度二維掃描振鏡
TS-MM-D6型模組是一款基于電磁驅動原理的大鏡面、雙軸柵式MEMS掃描模組。它采用了獨特的MEMS驅動技術，能夠提供超大掃描角度的同時保證較大反射鏡面面積。芯片內部集成有角度實時反饋和溫度測量功能，出廠提供每只產品的溫度標定曲線。
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6.5×4.5mm橢圓鏡面
65°大光學掃描角
雙軸柵式掃描
集成實時角度反饋
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?
數值
單位
鏡面尺寸（橢圓形）
6.5(F)×4.5(S)
mm
鏡面反射率
≥96%
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反射光波的波長范圍
700-2000
nm
快軸工作模式
正弦掃描，實時角度反饋
快軸最大光學掃描角
65
degree
快軸掃描頻率
700
Hz
慢軸工作模式
線性掃描，實時角度反饋
慢軸最大光學掃描角
65
degree
慢軸掃描頻率
0-20
Hz
外形尺寸
39×23×13.1
mm
驅動電壓
± 3.1
V
負載電阻
42
Ω
功耗
50
mW
工作溫度
-40~105
℃
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